微型機(jī)電系統(tǒng)（Micro Electro Mechanical System: MEMS）是指那些外形輪廓尺寸在毫米量級(jí)以下，構(gòu)成元件是微米量級(jí)的可控制、可運(yùn)動(dòng)的微型機(jī)電裝置。它是自微電子技術(shù)問世以來，人們不斷追求高新技術(shù)微型化的必然結(jié)果。在70年代初人們就開始MEMS的探索研究，直到80年代，這個(gè)領(lǐng)域才有了實(shí)質(zhì)性的進(jìn)展。它使用最新的納米材料技術(shù)，使得電機(jī)的體積驚人地減小。這樣的技術(shù)在軍事上無疑將有很大的用處，這些應(yīng)用主要包括有：微型機(jī)器人電子失能系統(tǒng)；螞蟻機(jī)器人；分布式戰(zhàn)場(chǎng)微型傳感器網(wǎng)絡(luò)；有害化學(xué)戰(zhàn)劑報(bào)警系統(tǒng)；微型敵我識(shí)別等方面。
微型機(jī)器人電子失能系統(tǒng)是一種特定的MEMS，它具有六個(gè)部分，包括傳感器系統(tǒng)、信息處理與自主導(dǎo)系統(tǒng)、機(jī)動(dòng)系統(tǒng)、破壞系統(tǒng)和驅(qū)動(dòng)電源。這種MEMS具有一定的自主能力，并擁有初步的機(jī)動(dòng)能力，當(dāng)需要攻擊敵方的電子系統(tǒng)時(shí)，無人駕駛飛機(jī)就投放這些MEMS。其中的一種方案是利用昆蟲作為平臺(tái)，通過刺激昆蟲的神經(jīng)來控制昆蟲完成接近目標(biāo)的過程。通過這樣的MEMS可以無聲無息地破壞敵方的主要目標(biāo)，有相當(dāng)?shù)膽?zhàn)略意義。
國(guó)外研究MEMS的實(shí)驗(yàn)
螞蟻機(jī)器人，是一種可以通過聲音來控制的MEMS，螞蟻機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)能量來自于一個(gè)能把聲音轉(zhuǎn)換成為能量的微型話筒，人們利用它潛伏到敵方的關(guān)鍵設(shè)備中，當(dāng)需要啟動(dòng)時(shí)，控制中心發(fā)出遙控信號(hào)，螞蟻機(jī)器人就開始吞噬對(duì)方的關(guān)鍵設(shè)備。螞蟻機(jī)器人能夠非常得小，能夠在人的血管中進(jìn)出自由，這樣在民用方面，也可以完成非常復(fù)雜和精細(xì)的醫(yī)學(xué)手術(shù)。
分布式戰(zhàn)場(chǎng)微型傳感器網(wǎng)絡(luò)是通過大量散播廉價(jià)的、可隨意使用的微型傳感器系統(tǒng)來完成對(duì)敵方系統(tǒng)更加嚴(yán)密的調(diào)查和監(jiān)視。MEMS本身非常小，無法被肉眼觀察到，就是儀器也很難精確地測(cè)定其位置，所以就很難受到攻擊了，這樣的系統(tǒng)組成一個(gè)龐大的網(wǎng)絡(luò)，敵方的一舉一動(dòng)都能夠非常清楚地了解到，因此對(duì)戰(zhàn)爭(zhēng)的監(jiān)視理論是一個(gè)新的發(fā)展。
特定的MEMS加上一個(gè)計(jì)算機(jī)芯片就能夠構(gòu)成一個(gè)袖珍質(zhì)譜儀，可以在戰(zhàn)場(chǎng)上檢測(cè)化學(xué)制劑。一個(gè)這樣的傳感器系統(tǒng)只有一個(gè)鈕扣這樣大小，能夠最大地減少價(jià)格昂貴的觸媒劑或者生物媒介的用量，還可以配備合適的解毒劑來擴(kuò)展功能。在化學(xué)武器日益發(fā)達(dá)的未來戰(zhàn)場(chǎng)，檢測(cè)化學(xué)制劑的MEMS必將能夠起到關(guān)鍵的預(yù)測(cè)、監(jiān)控和預(yù)報(bào)作用。
微型敵我識(shí)別裝置能夠在紛繁雜亂的戰(zhàn)場(chǎng)上，通過傳感器和智能識(shí)別技術(shù)，判斷出敵我目標(biāo)，避免不必要的錯(cuò)誤。大量的廉價(jià)的識(shí)別裝置的共同使用更加能夠增加判斷的可靠性。
綜合上面所述，MEMS之所以能夠完成大量的功能是因?yàn)樗牧畠r(jià)、微小、智能化、可控性的特點(diǎn)。MEMS的技術(shù)現(xiàn)在還遠(yuǎn)遠(yuǎn)沒有發(fā)展成熟，在未來的發(fā)展中，軍事上的需求將是MEMS的一個(gè)主要的發(fā)展方向，也必然能在未來推動(dòng)軍事的不斷發(fā)展，向軍事微觀化邁出關(guān)鍵的一步。