近日，北京中科信公司和上海微高公司在前制程關鍵設備上取得了重大的技術突破。

　　在離子注入機領域，北京中科信公司“十二五”45-22nm 低能大束流離子注入機低能減速技術取得新突破。低能減速技術作為低能大束流注入機的關鍵技術，直接關系到“十二五”項目的成敗，一直以來，備受關注。從最初的無法進行低能減速，到5kev 能量下調試的成功，再到2kev 能量下調試的成功，整個自主研發的過程凝聚著北京中科信人的汗水與智慧。目前，在引束實驗過程中，2kev 能量時打火頻率降至最低，并在到靶束流及傳輸效率方面進一步提高。

　　在投影光刻機領域，上海微高公司承擔的高速高精度工件臺系統、精密自動對準系統、高速物料傳輸系統研制取得了重要進展，各分系統通過工程設計、制造集成、系統集成測試，已達到預定的技術指標要求。