由元素六有限公司與Strathclyde大學(xué)的英國皇家物理學(xué)會的光子學(xué)研究院聯(lián)合主導(dǎo)的微加工金剛石裝置開發(fā)已獲得了完全的成功。由英國貿(mào)易與工業(yè)部 部分出資贊助的MIDDI項目的目標(biāo)是,發(fā)展世界領(lǐng)先的金剛石微電子器件制造技術(shù),提供給歐洲企業(yè)與日本和美國的競爭優(yōu)勢。
MIDDI的重點(diǎn)是高度微觀和納米尺度制造技術(shù)工具箱的開發(fā),這種工具箱可被用于開發(fā)下一代,基于人造金剛石單晶的高頻、高能電子器件。元素六公司已經(jīng)在化學(xué)氣相沉積法制造電子器件等級人造金剛石制造業(yè)取得了世界領(lǐng)先。MIDDI大大加深了這一領(lǐng)先。
英國皇家物理學(xué)會的作用是提供在等離子腐蝕技術(shù)方面的專業(yè)知識,制造裝置時要求用到這些定義精確的表面特征的專業(yè)知識。該機(jī)構(gòu)創(chuàng)建于1995,現(xiàn)已成為材 料腐蝕專業(yè)知識的中心,并且處理了一些傳統(tǒng)意義上難以解決的材料。該機(jī)構(gòu)的研究興趣包括半導(dǎo)體材料與器件,實踐的,全固態(tài)激光發(fā)生器,微觀發(fā)光二極管陣列 和各種各樣的應(yīng)用,特別是在生物光子學(xué)。
擔(dān)任英國皇家物理學(xué)會的協(xié)理董事的Prof Martin Dawson評論到“MIDDI工程已經(jīng)成為一個英國大學(xué)和工業(yè)能夠成功地合作開發(fā)新技術(shù)的經(jīng)典案例。元素六公司提出工程要求和提供高等級的受控?fù)诫s特征 金剛石結(jié)構(gòu);大學(xué)通過開發(fā)一種新穎的干刻蝕方法來滿足其要求,這是共同獲得專利的。這打開了通往真正可制造金剛石電子器件的道路,同時也為一大群新技術(shù)擴(kuò) 展了定義,其中包括金剛石電子學(xué),借助于元素六公司的支持,Strathclyde大學(xué)現(xiàn)在已獲得了顯著的地位。
這個工程已經(jīng)在三個領(lǐng)域獲得顯著的成果,這將幫助元素六公司支持金剛石制造放射電子器件的開發(fā)。首先,改善了具有在原子級仍然低粗糙度表面的基底和外延層 的合成與加工技術(shù)。制造高精度納米尺度的金剛石層的能力是依靠許多復(fù)雜的合成和加工步驟。對于一些高頻放射電子器件,一些單層的厚度要求僅為幾納米。另 外,這些層需要原子級表面光滑的和極其的清晰的摻雜剖視圖。
其次,元素六公司現(xiàn)在能夠在納米尺度上沉積硼摻雜金剛石薄層.為有源開關(guān)提出的裝置觀念是基于金剛石,就像三角金屬半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管使用這樣的薄層夾在 二層不摻雜的純金剛石層以支持晶體管作用一樣.最后,MIDDI已經(jīng)導(dǎo)致一種健全的和可再生的適于晶體管裝置制造的干刻蝕技術(shù)的產(chǎn)生。
這些成果為元素六公司新的子公司,Diamond Microwave Devices Ltd成立打下了基礎(chǔ),該子公司的目標(biāo)是開發(fā)世界第一個的商用高頻高能金剛石晶體管。在MIDDI標(biāo)準(zhǔn)下發(fā)展的技術(shù)也可使應(yīng)用于其他領(lǐng)域的高級金剛石技術(shù) 受益,例如用于輻射探測器和微觀視覺裝置。
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