藍寶石襯底表面質量的的研究和提高是LED行業重于泰山的任務之一。為此,很多研磨行業的專家和學者都致力于這一領域的研究,希望能不斷改進藍寶石襯底的表面質量度,推進LED行業的更快發展。藍寶石襯底具備硬度高且脆的特點,在研磨加工時非常容易破碎,塌邊,產生劃痕等,所以要達到相當高的精度更是難上加難。藍寶石襯底拋光機的工藝也是相當嚴謹和精細。
藍寶石襯底研磨機的工藝流程是:
1第一步:下料----磨削外周----周邊倒角----斜面磨削
2.藍寶石襯底粘貼到盤上----磨削平面----手工清洗----斜面拋光
3.第三步,鏡面研磨----手工清洗----研磨平面----手工清洗
4.第四步,藍寶石襯底下盤----手工清洗----拋光----清洗----檢查表面質量。
實際使用中的各種晶片,都是由晶棒切割加工制成,在用內圓切片機或線切割機將半導體晶棒切割成晶片時,因切割條件總會有變化,切割片在厚度和平整度等方面都存在偏差。如果切割條件不合適,還會造成較深的損傷層。晶片拋光過程中表面去除量很小,所以需要用研磨來有效改善晶片的彎曲度、平整度與平行度的偏差,并降低損傷層厚度。
由以上藍寶石拋光機的工藝流程可以看出藍寶石襯底的研磨和拋光以及清洗都是要經過嚴謹的程序,一步一步實施的。這些都是因為藍寶石襯底的特殊材質所成。煒安達公司是專門針對平面研磨和鏡面拋光這兩個階段來進行機器的生產,煒安達公司研究出來的藍寶石襯底的一系列機器收到了很多大型企業的贊賞,希望能在這一領域有更高的造詣。
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