1、光柵尺故障絕大多數問題出在讀數頭上。首先是元件老化造成的失效，其次因其是運動部件，很可能會出現機械磨損或部件脫落現象。

2、不要試圖用任何東西清理讀數頭上的光學器件，尤其是有機溶劑，可能會加劇電路板老化并破壞透鏡上的鍍膜涂料。

3、光柵尺本體也是可能出現問題的，光柵尺本體有一根作為基準光柵的光柵玻璃，其是有刻度的，如果安裝不到位的話，比如水平和垂直誤差過大，時間久了后，光柵玻璃的精度會喪失。而且光柵玻璃也有可能斷裂或者缺口，如果出現斷裂，如果斷裂部分在光柵尺用不到的頂部，還是可以用的，如果在必用位置，必須要更換新尺。尺子本體內部進雜物如鐵屑等臟物時，也會造成讀數不準備，

4、每安裝一把光柵尺，必須要對其尺子本體進行打表，有兩個面，水平面和垂直面都要打，短尺控制在10絲以內，長尺控制在20絲以內。如果打表不準確的話，不但可能會影響尺子的精度，甚至會影響尺子的使用壽命。

5、維修光柵尺是一項細致的工作，要事先做好一切準備，包括技術咨詢、元器件的選型配備、維修中的輕拿輕放、避免污染等都要注意，真正稱得上是一件細節決定成敗的工作。