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先進切削加工技術綜述（二）

時間：2008年05月30日瀏覽：647次收藏分享：

5 微細、精密和超精密切削加工技術
微細加工技術是指對微型機械、微小尺寸零件的加工技術。隨著航空航天、

工序	工件材料	切削速度 (m/min)	進給量 (mm/r)
粗加工 (a_p>0.64)	淬硬高碳鋼	90～140	0.10～0.30
	淬硬合金鋼	90～120	0.10～0.30
	淬硬工具鋼	60～90	0.10～0.20
精加工 (a_p>0.64)	淬硬高碳鋼	120～180	0.10～0.20
	淬硬合金鋼	120～150	0.10～0.20
	淬硬工具鋼	75～110	0.10～0.20

國防工業、現代醫學以及生物工程技術的發展，各種小型化、微型化設備和微小尺寸零件的應用越來越多，各種微型機械和微型機電系統(MEMS)的制造對微細加工技術提出了新的要求，向現有制造技術的加工極限挑戰，發展精密加工、超微細加工和納米加工技術已成為現代先進制造技術的一個發展方向。

微細加工除可通過電子束加工、離子束加工、化學加工等特種加工方法實現外，還可通過微細、超微細切削加工來實現。高精度機床和超穩定加工環境是實現微細切削加工的重要條件。由于微細切削的切削深度極小(通常小于材料的晶粒直徑)，切削只能在晶粒內進行，此時的切削方式相當于對一個個不連續體進行切削，使微細切削具有斷續切削的性質。選用精細研磨的金剛石刀具，用(1 0 0)或(1 10)晶面作為刀具的前、后刀面，在濕式切削條件下可實現對微量加工性(可用納米級表面粗糙度及在某一加工長度上對刀具磨損的忽略性來定義)好的工件材料 (如非晶體材料或有精細晶粒結構的材料)的微細切削加工。

通常將加工精度在0.1～1µm、加工表面粗糙度在R_a0.02～0.1µm的加工稱為精密加工；將加工精度高于0.1µm、加工表面粗糙度小于R_a0.01µm 的加工稱為超精密加工。精密和超精密切削加工的實現需要具備超精密機床設備和刀具、超穩定的工作環境、超精密測量技術及儀器、用計算機技術進行實時檢測和誤差補償等。

鏡面銑削和金剛石車削是最常用的兩種超精密加工方法。鏡面銑削的切削速度一般在30m/s以上，可加工塑性材料如銅、鋁、鎳等，也可加工脆性材料如硅、鍺、CaF2和ZnS等。鏡面銑削的主要應用領域是光學元器件的加工。

金剛石車削早期主要用于加工有色金屬材料(如無氧銅、鋁合金等)，主要加工零件是各種光學系統中的反射鏡。金剛石車削除可用于加工有機玻璃、各種塑料制品 (如照相機的塑料鏡片、隱形眼鏡鏡片等)外，還可用于加工陶瓷、復合材料等。為了切除極薄切屑，要求金剛石車刀切削刃的刃口半徑極小(< 0.05～0.1µm)。目前，在科研和生產中經常遇到一些納米(nm)級的幾何形狀精度和表面<

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先進切削加工技術綜述（二）

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