羅茨真空泵，簡(jiǎn)稱羅茨泵，由于它在真空系統(tǒng)中起增加壓強(qiáng)的作用，故又稱機(jī)械增壓泵。它的結(jié)構(gòu)和工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)十分相似，主要由泵殼，轉(zhuǎn)子和傳動(dòng)齒輪等組成。轉(zhuǎn)子呈8字形，有兩個(gè):一個(gè)為主動(dòng)轉(zhuǎn)子;另一個(gè)是從動(dòng)轉(zhuǎn)子。電動(dòng)機(jī)帶動(dòng)主動(dòng)轉(zhuǎn)子，主動(dòng)轉(zhuǎn)子通過(guò)一對(duì)齒數(shù)相等的同步齒輪帶動(dòng)從動(dòng)轉(zhuǎn)子。兩個(gè)轉(zhuǎn)子工作時(shí)在泵腔內(nèi)作方向相反的等速旋轉(zhuǎn)，因而能夠周期地把氣體自吸入口送到排氣口，再由前級(jí)油封機(jī)械泵把氣體排到大氣中去。

羅茨泵的轉(zhuǎn)子與泵腔、轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間有一定的間隙，約為0.2mm，因此，不需油潤(rùn)滑可以高速轉(zhuǎn)動(dòng)。但是，在低真空下，氣體分子平均自由程小，會(huì)有大量氣體通過(guò)間隙返流到被抽容器中去，降低了泵的效果。若在較高真空狀態(tài)，氣體分子平均自由程增大而間隙處的流導(dǎo)減少，氣體返流少，可獲得較高的真空度。為此，羅茨真空泵必須配置前級(jí)真空泵。

羅茨真空泵的極限真空為0.0665Pa，在13.3kPa~0.01Pa內(nèi)具有穩(wěn)定的抽氣性能，它的轉(zhuǎn)速高，振動(dòng)少，容積大，維護(hù)費(fèi)用低，缺點(diǎn)是制造精度高。羅茨真空泵已廣泛應(yīng)用于冶金、化工、食品、醫(yī)療、電機(jī)制造等工業(yè)的脫氣、蒸餾、蒸發(fā)和干燥等生產(chǎn)過(guò)程。