在半導(dǎo)體和集成電路工藝中,材料、晶圓、芯片的測(cè)試是必不可少的環(huán)節(jié)。數(shù)字源表SMU具備源測(cè)功能,可以產(chǎn)生電流-電壓(I-V)特性曲線,是半導(dǎo)體材料、器件電性能表征測(cè)量的核心。在測(cè)試時(shí),通過(guò)數(shù)字源表提供激勵(lì)并對(duì)測(cè)量信號(hào)進(jìn)行采集,首先將電流或電壓輸入被測(cè)器件(DUT),測(cè)量該器件對(duì)此輸入信號(hào)的響應(yīng);這些信號(hào)的路徑為:源表的輸出端接入電纜,電纜和探針連接,電流或電壓信號(hào)通過(guò)探針至芯片。
普賽斯數(shù)字源表集電壓源、電流源、電壓表、電流表、電子負(fù)載功能于一體,支持四象限工作、微弱電流10pA輸出測(cè)量、3500V高壓下nA級(jí)測(cè)量、1000A脈沖大電流輸出,全系列產(chǎn)品豐富,新推出更高精度、更大直流的SXXB系列高精度數(shù)字源表,相比于傳統(tǒng)S系列源表,準(zhǔn)確度提升至?0.03%,直流電流升級(jí)至3A,可為半導(dǎo)體行業(yè)提供更加精準(zhǔn)、穩(wěn)定的測(cè)試方案;晶圓/芯片微弱電流測(cè)試VI源表認(rèn)準(zhǔn)普賽斯儀表,詳詢18140663476
產(chǎn)品特點(diǎn)
5寸800*480觸摸顯示屏,全圖形化操作
內(nèi)置強(qiáng)大的功能軟件,加速用戶完成測(cè)試,如LIV、PIV
源及測(cè)量的準(zhǔn)確度為0.03%
四象限工作(源和肼),源及測(cè)量范圍:高至300V,低至3pA
豐富的掃描模式,支持線性掃描、指數(shù)掃描及用戶自定義掃描
支持USB存儲(chǔ),一鍵導(dǎo)出測(cè)試報(bào)告
支持多種通訊方式,RS-232、GPIB及以太網(wǎng)
技術(shù)參數(shù)
源限度-電壓源:?10V(≤3A量程),?30V(≤1A量程),?300V(≤100mA量程);
源限度-電流源:?3A(≤10V量程),?1A(≤30V量程),?100mA(≤300V量程);
過(guò)量程: 105%量程,源和測(cè)量;
穩(wěn)定負(fù)載電容:<22nF;
寬帶噪聲(20MHz):2mV RMS(典型值),<20mV Vp-p(典型值);
線纜保護(hù)電壓:輸出阻抗30KΩ,輸出電壓偏移<80mV;
最大采樣速率:S系列1000 S/s,SXXB系列32000S/s;
觸發(fā):支持IO觸發(fā)輸入及輸出,觸發(fā)極性可配置;
輸出接口:前后面板香蕉頭插座輸出,同一時(shí)刻只能用前或者后面板接口;
通信口:RS-232、GPIB、以太網(wǎng);
電源:AC 100~240V 50/60Hz;
工作環(huán)境:25?10℃;
尺寸:106mm高 ? 255mm寬 ?425mm長(zhǎng);
重量:5KG
質(zhì)保期:1年
S系列源表應(yīng)用
分立器件特性測(cè)試:電阻、二極管、發(fā)光二極管、齊納二極管、PIN二極管、BJT三極管、MOSFET、SiC、GaN等器件;
能量與效率特性測(cè)試:LED/AMOLED、太陽(yáng)能、電池、DC/DC轉(zhuǎn)換器;
傳感器特性測(cè)試:電阻率、霍爾效應(yīng)等;
有機(jī)材料特性測(cè)試:電子墨水、印刷電子技術(shù)等;
納米材料特性測(cè)試:石墨烯、納米線等;
激光器特性測(cè)試:窄脈沖LIV測(cè)試系統(tǒng);
功率器件:靜態(tài)測(cè)試系統(tǒng);
電流傳感器:動(dòng)靜態(tài)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng);
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