如何選擇裝飾和工具鍍膜設備中的真空系統
一套成熟的真空系統在鍍膜設備中扮演重要角色. 需要從鍍膜質量, 生產安全和成本三個方面考量. 上海伯東德國 Pfeiffer 通過推薦合適的真空系統實現鍍膜工藝過程中降本增效的作用.
理解鍍膜工藝過程, 選擇合適的真空系統, 提高鍍膜質量
影響鍍膜系統真空選型的因素
腔體尺寸: 腔體尺寸直接關系到真空泵的尺寸, 在相同的抽空時間的要求下, 越大的腔體需要配越大的泵, 也就是越大抽速的真空泵
循環時間(節拍): 循環時間我們又稱之為節拍, 通常定義為在單位時間內的產出批次; 直接影響著鍍膜設備的盈利能力; 所以說節拍也關系到泵尺寸大小的一個選擇
壓力: 需要達到什么樣的目標真空度？壓力決定著是選擇單級泵, 多級泵以及是否需要配置分子泵; 此外還需要考慮某些氣體, 在特定壓力下對真空設備的影響; 更多的是在比較高的壓力下的一些影響
工藝氣體: 需要了解, 離開腔體及抽氣管路的具體物質和它的物質的量;  真空設備必須和對應的氣體種類和數量相匹配;  而且, 真空系統必須對有害物質具有防護的能力
溫度: 在工具鍍膜的應用中, 常常處于高溫的條件下, 因此是否需要冷卻, 以及所有安裝的組件 - 不僅僅是真空系統, 是否需要冷卻, 都是需要考慮的方面
放氣: 腔體的內表面積越大, 包括腔體的自身的表面積和腔體內部的機械或者電子零部件的表面積以及這些表面的潔凈程度; 都對應了他放氣量的一個數值;  因此如果有大量放氣的情況產生, 在選擇真空系統的時候, 就必須要考慮到這一點
可能的真空抽氣方案: 單級泵, 多級泵, 高真空度下配分子泵
高壓力和低氣載, 一般選單級泵 (油泵, 干泵).
低壓力和高氣載, 一般選多級羅茨泵組, 工具鍍膜典型配置 Duo 65M OKTA 500M 真空泵組
因 PVD 工藝壓力 <1E-3mbar, 選擇分子泵

如何選擇合適的前級泵: 在您的應用場景中最重要的要求是？

如何選擇合適的泵組: 先確認泵組需要實現的功能, 比如快速抽空, 在工藝壓力下連續抽氣
根據抽速, 目標時間, 目標壓力來選擇合適的型號, 并考慮由于管路流導損失和配件的影響, 抽速的損失在設計中也必須要考慮到.
如何選擇合適的分子泵: 根據實際需要
更快的啟動時間, 可以直接啟動？還是免維護？ 
是更低的震動, 無工藝污染或者是粉塵堆積的耐受能力等等 

上海伯東德國 Pfeiffer 提供2種類型的分子泵: 復合軸承技術和磁懸浮軸承的技術, 兩種不同類型的分子泵各自有不同的性能特點: 

隨著工藝粉塵在生產過程中的不斷累積, 需要對分子泵旋片受到的不平衡外力進行補償,  也就是在磁懸浮軸承部分施加一個補償, 方案是通過電磁控制做一個程度相對有限的一個調整.
這樣對比, 就能得出復合軸承對粉塵的耐受能力更強的結論. 
因為復合軸承技術沒有產生額外的磁場, 所以不受到環境的外磁場干擾

上海伯東德國 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉速最高 90,000 rpm, 極限真空最大 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運行時間可以達到 100,000 小時! 普發分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推薦分子泵典型應用 >>

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