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上海伯東德國 Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 推出氣密離子源型號, 適合與進(jìn)氣系統(tǒng)組合使用, 并具有低氣體消耗和高信噪比的特點. 殘余氣體分析儀 PrismaPro 模塊化設(shè)計滿足多種應(yīng)用: 例如工業(yè) ( 冷凍干燥 )和分析儀器, 研發(fā), 半導(dǎo)體生產(chǎn)和真空鍍膜技術(shù)等.
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 技術(shù)參數(shù):
型號 | QMG 250 F1 | QMG 250 F2 | QMG 250 F3 | QMG 250 M1 | QMG 250 M2 | QMG 250 M3 | |
檢測器 | 法拉第 Faraday (F) | 電子倍增器/法拉第 C-SEM / Faraday (M) | |||||
質(zhì)量數(shù) amu | 1–100 | 1–200 | 1–300 | 1–100 | 1–200 | 1–300 | |
四極桿直徑／長度 | 6 / 125 mm | ||||||
最小檢測極限 F hPa *1,2 | 4X10-13 | 5X10-13 | 7X10-13 | - | - | - | |
最小檢測極限 M hPa *1,2 | - | - | - | 3X10-15 | 4X10-15 | 5X10-15 | |
對Ar的靈敏度 F A/hPa*3 | 5X10-4 | 4X10-4 | 3X10-4 | 5X10-4 | 4X10-4 | 3X10-4 | |
最大工作壓力 F hPa | 5X10-4 | ||||||
最大工作壓力 M hPa | - | - | - | 5X10-5 | 5X10-5 | 5X10-5 | |
對臨近質(zhì)量數(shù)的影響*1 | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | |
操作溫度 分析 | 200 ?C (max. 150 ?C when operating with SEM) | ||||||
操作溫度 電子 | 5 – 50 ?C | ||||||
烘烤溫度 分析 | 300 ?C | ||||||
連接法蘭 | DN 40 CF-F | ||||||
保壓時間 | 1 ms – 16 s/amu | ||||||
重量 | 2.5 kg | 3.2 kg | |||||
* 1 開放式離子源
* 2 停留時間 4秒
* 3 與 C-SEM 相比, 具有較高的靈敏度
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