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上海伯東德國 Pfeiffer 全量程真空計 PKR 251, 內置兩個傳感器, 測量范圍 5X10-9 至 1000 hPa, 耐一般性腐蝕, 堅固耐用, PKR 251 作為標準配件廣泛應用于各類真空設備中.
全量程真空計 PKR 251 應用于6寸碳化硅外延爐
上海伯東某客戶生產 SIC 薄膜器件肖特基二極管和新能源汽車的 IGBT 器件. 選用真空規 PKR 251 測量 6寸碳化硅外延爐設備中的石英真空腔室的真空度. 經過實踐認證, 真空計完全符合工藝要求..jpg)
Pfeiffer 全量程真空計 PKR 251 技術參數
型號 | 接口 | 測量范圍 | 最大壓力 | 準確度 | 可重復性 | 輸出信號（測量信號） | 電源電壓 |
PKR 251 | DN25 ISO-KF | 5X10-9 至 1000 hPa | 10000 hPa, | 在 1X 10-8 至 100 hPa 范圍內約為 ? 30 % | 在 1 X 10-8 至 100 hPa 范圍內約為 ? 5 % | 電壓范圍 | 在真空計處 |
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