氦質譜檢漏儀高真空排氣臺密封性泄露檢測
上海伯東某客戶生產研發多工位高真空和超高真空排氣臺, 實現多工位同時抽真空的效果, 真空度需要穩定在 -7 mbar, - 8 mbar, 包含真空系統在內的多個組件, 均需要進行密封性泄露測試, 以保證高真空性能. 經過上海伯東推薦真空系統核心組件分子泵選用德國 Pfeiffer HiPace 系列, 并使用無油干式氦質譜檢漏儀 ASM 340D 對整個排氣臺進行密封性檢漏.
高真空排氣臺真空系統組成
* 渦輪分子泵 HiPace 80, HiPace 300, Hicube 80 ECO
分子泵型號 | HiPace 80 | HiPace 300 | Hicube 80 ECO |
圖片 |
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氮氣抽速 L/S | 67 | 260 | 67 |
極限真空 mbar | ＜5X10-10 | ＜5X10-10 | ＜1X10-8 |
* 真空規: PKR 251, CMR 361
超高真空排氣臺檢漏方法
排氣臺管路預留 KF 25 法蘭(或在分子泵和前級泵間預留), 通過波紋管與氦質譜檢漏儀 ASM 340D 連接, 真空模式下, 漏率值設定為 10-7 mbar l/s. 用噴槍在懷疑有漏的部位進行吹掃. 如果超過設定的漏率值, 檢漏儀會時時報警并顯示當前漏率.
上海伯東銷售維修無油干式氦質譜檢漏儀 ASM 340D 與傳統泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損快速檢漏的同時可以檢測出更小的漏率 1X10-12 mbar l/s, 利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點.
| 型號 | ASM 340D |
對氦氣的最小檢測漏率 | 1X10-12 mbar l/s | |
檢測模式 | 真空模式和吸槍模式 | |
檢測氣體 | 4He, 3He, H2 | |
啟動時間 min | 3 | |
對氦氣的抽氣速度 l/s | 2.5 | |
進氣口最大壓力 hPa | 25 | |
前級泵抽速 m3/h | 無油隔膜泵 3.4 | |
45 | 45 |
結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家檢漏儀的技術優勢, 上海伯東德國 Pfeiffer 推出全系列新型號氦質譜檢漏儀, 從便攜式檢漏儀到工作臺式檢漏儀滿足各種不同的應用. 氦質譜檢漏儀替代傳統泡沫檢漏和壓差檢漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點. 氦質譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統或 PLC. 推薦氦質譜檢漏儀應用 >>
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