氦質譜檢漏儀 ASM 340 真空鍍膜配氣面板檢漏
上海伯東某客戶生產超高純度特種氣體不銹鋼減壓閥門, 接頭, 管件, 這些配件主要用于集成在真空鍍膜配氣面板, 實現工藝氣體的傳輸. 為了防止氣體外泄, 除了閥門, 接頭, 管件需要單獨檢漏外, 整個配氣面板也需要測試整體漏率, 使用上海伯東德國 Pfeiffer 氦質譜檢漏儀 ASM 340, 真空模式下, 漏率設置為 5.5x10-10 Pa m3/s. 組裝后的真空鍍膜配氣面板廣泛應用于 CVD 設備.
真空鍍膜配氣面板檢漏
1. 不銹鋼減壓閥門, 接頭, 管件等單獨進行檢漏, 真空模式下, 漏率 5.5x10-10 Pa m3/s

2. 組裝后的真空鍍膜配氣面板, 整體再次進行檢漏, 真空模式下, 漏率 5.5x10-10 Pa m3/s

上海伯東銷售維修氦質譜檢漏儀 ASM 340 與傳統泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損檢漏的同時可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點.

結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家檢漏儀的技術優勢, 上海伯東德國 Pfeiffer 推出全系列新型號氦質譜檢漏儀, 從便攜式檢漏儀到工作臺式檢漏儀滿足各種不同的應用. 氦質譜檢漏儀替代傳統泡沫檢漏和壓差檢漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點. 氦質譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統或 PLC. 推薦氦質譜檢漏儀應用 >>

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