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上海伯東某 OEM 客戶(hù)研發(fā)生產(chǎn)科研用真空鍍膜和沉積設(shè)備. 經(jīng)過(guò)伯東推薦真空部分采用 Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 80 和高精度薄膜真空規(guī) CMR 361 用于定制大型脈沖激光沉積 Pulsed Laser Deposition 系統(tǒng). 從而實(shí)現(xiàn)該系統(tǒng)制備金屬, 半導(dǎo)體, 氧化物, 氮化物, 碳化物, 硼化物, 硅化物, 硫化物及氟化物等各種物質(zhì)薄膜和制備一些難以合成的材料膜, 如金剛石, 立方氮化物膜等.
科研定制 PLD 系統(tǒng)配置:
分子泵 HiPace 80 *8
薄膜真空規(guī) CMR 361 *3
真空規(guī) TPR 280 *1
伯東 Pfeifer 分子泵 HiPace 80 主要參數(shù)和抽氣性能
型號(hào) | HiPace 80 |
進(jìn)氣口 | DN 63 CF-F |
極限真空 hPa | < 5X10-10 |
氮?dú)獾膲嚎s比 | > 1X1011 |
氮?dú)獾某闅馑俣? l/s | 67 |
工作電壓: V DC | 24 (? 5 %) |
氮?dú)獾那凹?jí)真空最大值 hPa | 22 |
重量 kg | 3.8 |
噪音 dB(A) | ≤48 |
上海伯東德國(guó) Pfeiffer 渦輪分子泵適用于
分析儀器: 電子顯微鏡, 檢漏, 小型質(zhì)譜, 表面分析, 殘余氣體分析
半導(dǎo)體: PVD, inspection, bonding, MBE, load-locks
工業(yè): 醫(yī)學(xué)技術(shù), 工業(yè)檢漏, 隔離真空, 燈管制造
研發(fā): 核研究, 等離子研究, 粒子加速器, 冷凍研究, 納米技術(shù), 生物技術(shù)
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