上海伯東某客戶從事樹脂鏡片的研發, 生產和銷售, 經過伯東推薦, 采用德國 Pfeiffer 氦質譜檢漏儀 ASM 340 對其生產設備 - 精密光學鍍膜機進行檢漏. 真空模式下, 漏率要求達到 1X10-7 mbar l/s, 保證光學鍍膜機在生產過程中的密封性.
光學鍍膜機檢漏方法: 采用氦質譜檢漏儀真空模式, 漏率設置為 1X10-7 mbar l/s, 主要對真空室和連接管路進行檢漏, 通常真空室內漏氣都是從室壁上的一些接口或部件之間的焊縫中發生, 當抽氣系統抽氣后使真空室內壓強降低, 外部與內部的壓強差使氣體從壓強高的外部流向壓強低的真空室內, 形成真空度降低. 真空度的降低則會降低光學鏡片的合格率.
檢漏儀通過波紋管, 與鍍膜機背部預留的接口連接, 啟動檢漏儀, 設置好漏率, 在懷疑有漏的地方噴氦氣
氦質譜檢漏儀 ASM 340 主要參數 |
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