渦輪分子泵組

HiCube? Eco

功耗

170W

電壓（范圍）

110 - 240 V; 50 / 60 Hz

氮氣抽速

67 l/s

前級泵在 50 Hz 時的泵送速度

1 m3/h

極限真空

<1X10-7 hPa

真空計

PKR 361

測量范圍

1X10-9 至 1X103 hPa

閥門

EVN 116

氣體流量

可調整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s

進氣口

DN 16 ISO-KF

PrismaPro

QMG 250 F1

QMG 250 F2

QMG 250 F3

QMG 250 M1

QMG 250 M2

QMG 250 M3

檢測器

法拉第 Faraday (F)

電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)

質量數 amu

1–100

1–200

1–300

1–100

1–200

1–300

四極桿直徑／長度

6 /125 mm

最小檢測極限 F hPa *1,2

4X10-13

5X10-13

7X10-13

-

-

-

最小檢測極限 M hPa *1,2

-

-

-

3X10-15

4X10-15

5X10-15

對Ar的靈敏度 F A/hPa*3

5X10-4

4X10-4

3X10-4

5X10-4

4X10-4

3X10-4

最大工作壓力 F hPa

5X10-4

最大工作壓力 M hPa

-

-

-

5X10-5

5X10-5

5X10-5

對臨近質量數的影響*1

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

操作溫度 分析

200 ?C (max. 150 ?C when operating with SEM)

操作溫度 電子

5 – 50 ?C

烘烤溫度 分析

300 ?C

連接法蘭

DN 40 CF-F

保壓時間

1 ms – 16 s/amu

峰比值可重復性

? 0.5 %

接口

以太網

電源電壓

100–240 V AC，50/60 Hz

HiCube? RGA重量

25.5 - 26.2 kg