為了獲得具備電磁屏蔽能力的 PPS, PEEK等高分子輕量化材料, 但 PPS, PEEK 導(dǎo)電性能差、無(wú)電磁波屏蔽能力或者達(dá)不到理想的屏蔽效果, 因此, 某機(jī)構(gòu)采用磁控濺射鍍膜工藝對(duì) PPS、PEEK 等材料結(jié)構(gòu)件產(chǎn)品表面進(jìn)行金屬化處理.

 

其工藝主要分為前處理、鍍膜、后處理等三個(gè)環(huán)節(jié). 

 

前處理需要對(duì) PPS/PEEK 待鍍襯底面進(jìn)行 Hall 離子源清洗, 該機(jī)構(gòu)采用伯東 KRI 考夫曼 霍爾離子源 eh 3000 對(duì) PPS/ PEEK 襯底面進(jìn)行清洗.

 

KRI 考夫曼 霍爾離子源 Gridless eH 3000 主要技術(shù)參數(shù):

離子源型號(hào)	霍爾離子源 eH3000
Cathode/Neutralizer	HC
電壓	50-250V
電流	20A
散射角度	>45
可充其他	Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others
氣體流量	5-100sccm
高度	6.0“
直徑	9.7“
水冷	可選

 

其濺射室需要沉積前本底真空抽到 1?10-5 Pa, 經(jīng)推薦采用伯東經(jīng)濟(jì)型分子泵組 HiCube 30 Eco, 其技術(shù)參數(shù)如下： 

泵組型號(hào)	進(jìn)氣法蘭	分子泵 型號(hào)	抽速 氮?dú)鈒/s	極限真空  hPa	前級(jí)泵型號(hào)	前級(jí)泵 抽速 m?/h
Hicube 30 Eco	DN 40 ISO-KF	Hipace 30	22	1X10-7	MVP 015-2	1

 

運(yùn)用結(jié)果：

1. KRI 考夫曼 霍爾離子源 eh 3000 對(duì)襯底面良好的清洗, 提高了膜層的附著力

2. 經(jīng)濟(jì)型分子泵組 HiCube 30 Eco快速將本底真空抽到 1?10-5 Pa, 并穩(wěn)定保持整個(gè)過(guò)程的真空度

 

伯東是德國(guó) Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計(jì), 美國(guó) KRI 考夫曼離子源, 美國(guó)HVA 真空閥門(mén), 美國(guó) inTEST 高低溫沖擊測(cè)試機(jī), 美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.

 

 

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