某鋰硫電池制造商采用伯東KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP380 輔助濺射沉積制備鋰硫電池正極片.

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP380 技術參數:

射頻離子源型號	RFICP380
Discharge 陽極	射頻 RFICP
離子束流	>1500 mA
離子動能	100-1200 V
柵極直徑	30 cm Φ
離子束	聚焦, 平行, 散射
流量	15-50 sccm
通氣	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型壓力	< 0.5m Torr
長度	39 cm
直徑	59 cm
中和器	LFN 2000

 

工藝流程:

該正極片的制備在離子束濺射室內進行, 將鋁箔作為基片, 將定量的塊體硫和塊體碳作為靶材.

在開始工藝前, 需要將離子束濺射室抽真空后, 然后利用KRI 射頻離子源 RFICP380 將通入的氬氣離化為氬離子, 氬離子束以不同的功率交替轟擊塊體硫和塊體碳, 將硫原子和碳原子分別濺射出來, 沉積到鋁箔表面, 即獲得帶有硫碳復合材料的鋰硫電池正極片.

 

KRI 射頻離子源 RFICP380 特性:

1. 大面積射頻離子源

2. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求

3. 采用射頻技術產生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長, 更適合時間長的工藝要求

4. 離子束流: >1500 mA

5. 離子動能: 100-1200 V

6. 中和器: LFN 2000

7. 采用自動控制器, 一鍵自動匹配

8. RF Generator 可根據工藝自行選擇離子濃度, EX: 1kW or 2kW

9. 離子源采用模塊化設計, 方便清潔/ 保養/ 維修/ 安裝

10. 柵極材質鉬和石墨, 堅固耐用

11. 通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others

 

為了給離子束濺射室提供 10-4 Pa真空度, 該制造商采用伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 700抽真空. 其技術參數如下:

2707-Operating voltage: V DC	48 (? 5 %) V DC
Ar 的壓縮比	> 1 ? 1011
Ar 的抽速	665 l/s
Ar 的最終轉速時的氣體流量	3.5 hPa l/s | 2.62 Torr l/s | 3.5 mbar l/s
H2 的壓縮比	4 ? 105
H2 的抽速	555 l/s
H2 的最終轉速時的氣體流量	> 14 hPa l/s | > 10.5 Torr l/s | > 14 mbar l/s
He 的壓縮比	3 ? 107
He 的抽速	655 l/s
He 的最終轉速時的氣體流量	10 hPa l/s | 7.5 Torr l/s | 10 mbar l/s
I/O 接口	RS-485, 遠程, Profibus
N2 的壓縮比	> 1 ? 1011
N2 的抽速	685 l/s
N2 的最大預真空	11 百帕
N2 的最終轉速時的氣體流量	6.5 hPa l/s | 4.88 Torr l/s | 6.5 mbar l/s
不帶氣鎮的最終壓力	1 ? 10-7 百帕
允許冷卻水的溫度	15 – 35 ?C 攝氏度
冷卻水消耗最小值	100 l/h
冷卻水耗量	100 l/h
冷卻類型, 可選項	空氣
冷卻類型, 標準	水
聲壓水平	≤50 dB(A) 分貝 (A)
安裝方向	任何
排氣連接	G 1/8"
接口, 擴展	Profibus
方位	混合動力
最大允許磁場	6 mT
根據 PNEUROP 的最終壓力	< 1 ? 10-7 百帕
電子驅動單元	帶有 TC 400
電流最大值	8,75 A
耗電量 max.	420 瓦
轉速 ± 2 %	49,200 rpm | 49,200 min-1
轉速可變化	60 – 100 %
運行時間	2 分
連接法蘭（入口）	DN 160 ISO-F
連接法蘭（出口）	DN 25 ISO-KF/G ?"
重量	12.1 千克
防護等級	IP54

 

運行結果:

能夠精確控制濺射量, 獲得混合均勻的硫碳復合材料.

 

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

 

 

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