分子束外延 MBE-8
上海伯東代理分子束外延設備 MBE-8 可以成長三寸以下的樣品, 樣品溫度可以加到 900 攝氏度, 如果是兩寸以下的樣品可以到 1100 攝氏度. 可以裝置 8個束源爐, 最大容量 40cc. 配備晶振, 束流監控器, 高能電子槍以及監控軟件. 可以裝置固體源, 氣體源 / ALD閥, 等離子增強型束源爐 ( plasma cell ) 及電子回旋共振束源爐 ( ECR plasma cell ). 可裝電子槍 E-beam.
此腔體是用 SUS316 不銹鋼制作, 真空可到 2?10-10 torr, 使用上海伯東德國 Pfeiffer HiPace 700 分子泵.內部有全罩式液態氮冷罩, 可提供非常大的抽氣效率. 分子束外延設備在長二維材料以及拓撲材料, 氧化物方面都有不錯的性能. 如: III-V 族, II-VI 族, Si / SiGe, 金屬與金屬氧化物以及 GaN, AlN, AlGaN, InGaN, AlGaInN, CIGS, OLED 等.
分子束外延 MBE-8 主要參數
? Cylindrical SS316L electro-polished chamber with Liquid N2 Cryopanel
? ~2E-10 Torr Base Pressure
? UHV pumps and gauges
? 3-in substrate size
? 4-axes sample manipulator (XYZ, and Rotation)
? SiC heating element with sample heating temperature: 900?C
? 2-12 slots for effusion cells, gas source, vavle crackers, and/or plasma source
? Standard RHEED system (real-time epitaxy monitoring)
? Beam flux monitor
? Mask system with z-motion
? Pressure control system: upstream and downstream
? FBBeam System Control Software
分子束外延設備優勢
清潔基體表面, 無氧層
外延 ( 原子層 ) 沉積
沉積薄膜均勻性好, 純度高
金屬種子, 半導體材料和摻雜劑的原位沉積

準確控制熱蒸發
使用 RHEED 系統進行現場涂層監測
沉積薄膜的超豎琴 XRD 圖譜

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