有機材料熱蒸鍍設備 OLED, OPV
有機金屬熱沉積系統是一種熱蒸發的方式, 用于將有機或金屬材料沉積到基板表面上. 該過程需要通過準確控制溫度和沉積速率來實現薄膜的高精度和均勻性. 為了達到此要求, 有機材料熱沉積系統使用高精準熱蒸發源作為加熱源, 并使用金屬, 石英, 陶瓷或 PBN 坩堝來容納有機材料以及 PID 控制器來控制其沉積速率.
上海伯東針對薄膜封裝推出電漿輔助式化學氣相沉積, 原子層沉積和聚對二甲苯沉積等三種設備, 且使用低溫的沉積技術, 分別在 OLED 上堆疊多層薄膜, 廣泛應用于有機發光二極體, 有機光伏打電池和材料科學研究.
上海伯東有機材料熱蒸鍍設備配置和優點
客制化的基板尺寸, 最大直徑為 12寸晶圓或 470 x 370 mm
優異的薄膜均勻度小于 ?3%
用于有機材料的蒸發源（可用金屬、陶瓷、石墨或 PBN 坩堝）
鍍率自動控制: 最小值為 0.01?/s
蒸發源溫度控制可達到精度 ?0.1
具有順序操作或共沉積的多個蒸發源
用 CCD 對位將玻璃基板和遮罩的位置對準在?5μm 以內
每個蒸發源和基材均有安裝遮板和百葉窗
有機材料熱蒸鍍設備腔體和選件
腔體的極限真空度約為 -10, 由 304不銹鋼所制成, 通過外部焊接 304不銹鋼管線對腔體進行水冷. 寬大的前開式門, 并有兩個視窗和視窗遮版用于觀察基材和蒸發源. 一個熱蒸發腔體內, 最多可容納 12組熱蒸發源. 設備可以與傳送腔, 機械手臂和手套箱整合在一起, 搭配使用殘留氣體分析儀.

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