上海伯東 Pfeiffer 復合軸承渦輪分子泵, 內部陶瓷軸承采用油潤滑方式. 油潤滑對比脂潤滑主要優勢如下：
1. 給軸承降溫, 延長了分子泵的使用壽命
2. 減少軸承滾珠磨損
3. 清洗分子泵軸承, 避免污染物附著在軸承上
脂潤滑不具備以上優點, 而且易殘留, 容易導致分子泵的故障率高
上海伯東 HiPace 系列渦輪分子泵技術規格
型號 | 進氣口 DN | 壓縮比 | 極限真空 hPa | 抽速 l/s | |||||||||
N2 | He | H2 | Ar | N2 | He | H2 | Ar | ||||||
HiPace 10 | 25 | 3X106 | 3X103 | 3X102 | 2.5X108 | < 5X10-5 | 10 | 6 | 3.7 | 11.5 | |||
HiPace 80 | 40 /63 | 1X1011 | 1.3X107 | 1.4X105 | 1X1011 | < 5X10-10 | 67 | 58 | 48 | 66 | |||
HiPace 300 | 100 | 1X1011 | 1X108 | 9X105 | 1X1011 | < 5X10-10 | 260 | 255 | 220 | 255 | |||
HiPace 700 | 160 | >1X1011 | 3X107 | 14X105 | 1X1011 | < 5X10-10 | 685 | 655 | 555 | 665 | |||
HiPace 1200 | 200 | >1X108 | 2X104 | 6X103 | >1X108 | < 5X10-10 | 1250 | 1300 | 1100 | 1200 | |||
HiPace 2300 | 250 | >1X108 | 3X105 | 2X104 | >1X108 | < 5X10-10 | 1900 | 2000 | 1850 | 1800 | |||
極限真空為實驗室理想值
上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 系列獲得 Semi S2, UL, CSA 和 Nema 12 認證. 特別適用于質譜分析, 電子顯微術, 測量技術, 粒子加速和等離子體物理方面的應用. 除了用于分析, 真空工藝和半導體技術外, 還可用于真空鍍膜, 研發以及工業領域.
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