產品描述

上海伯東代理美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 100, 屬于中型規格柵極離子源. 離子束可選聚焦/ 平行/ 散射.

離子束流: >400 mA; 離子動能: 100-1200 V; 流量: 2-20 sccm; 中和器: 燈絲.

采用雙陰極燈絲和自對準柵極.加熱燈絲產生電子, 增強設計輸出高質量, 穩定的電子流.

離子源采用模塊化設計, 方便清潔/ 保養/ 維修/ 安裝.

通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.

KRI 考夫曼離子源 KDC 100 技術參數：

伯東美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 100 技術參數：

離子源型號	離子源 KDC 100
Discharge	DC 熱離子
離子束流	>400 mA
離子動能	100-1200 V
柵極直徑	12 cm Φ
離子束	聚焦, 平行, 散射
流量	2-20 sccm
通氣	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型壓力	< 0.5m Torr
長度	23.5 cm
直徑	19.4 cm
中和器	燈絲

* 可選: 可調角度的支架

KRI 考夫曼離子源 KDC 100 應用領域：

伯東KRI 考夫曼離子源 KDC 100 應用領域：

1.濺鍍和蒸發鍍膜 PC

2.輔助鍍膜(光學鍍膜)IBAD

3.表面改性, 激活 SM

4.離子濺射沉積和多層結構 IBSD

5.離子蝕刻 IBE