參 數 項 目

指 標 要 求

測量范圍

（0～4）mm，分辨力0.001mm

接觸壓力

（100?10）kPa

接觸面積

（200?5）mm2

上下測量面平行度誤差

≤0.002mm

示 值

準確度

示值誤差

?0.0025mm或?0.5%

示值變動性

≤0.0025mm或≤0.5%

測頭下降速度

≤3mm/s

測頭提升高度

≥4mm

外形尺寸（長?寬?高）

310mm?140mm?365mm

質量

約6kg