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DW9621系列固晶機(jī)是面向高綁定力應(yīng)用需求的高速固晶機(jī),通過自研的力控系統(tǒng),在?10微米的高貼片精度下,可實(shí)現(xiàn)高達(dá)500N,高達(dá)10000片每小時(shí)的極致貼片效率(依賴工藝制程)。DW9621系列產(chǎn)品采用開放式架構(gòu)和模塊化設(shè)計(jì),為客戶提供極致效率的按需定制能力,通過集成了點(diǎn)膠、自動(dòng)換刀、熱壓貼合等功能,可處理多尺寸晶圓,能實(shí)現(xiàn)多種基板傳送方式,滿足功率模塊,IGBT,SiC,MCM,SiP等封裝工藝。
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