干式真空泵 A4X 系列
上海伯東德國 Pfeiffer 干式真空泵 A4X 系列適合半導體、光伏等腐蝕性強的行業，干式真空泵抽速從 160 到 1,700 m3/h 滿足不同需求，特殊的耐腐蝕工藝設計保證干式真空泵 A4X 系列使用壽命大幅提高，有效降低了企業成本。
干式真空泵 A4X 系列核心優勢：
耐腐蝕設計，使用壽命長
通過 Semi S2-0712 和 UL 61010 標準
特殊設計，避免真空泵發生爆裂或可冷凝物沉積
配置氮氣吹掃閥，耐粉塵

干式真空泵 A4X 系列應用：
半導體：（蝕刻、PECVD、SACVD、ALD 等）
涂料行業：光伏和 LED
干式真空泵 A4X 系列技術參數：

干式真空泵 A4X 系列抽速：


 

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