干式真空泵 A 100 L-A 200 L
上海伯東銷售維修 Pfeiffer 干式真空泵（多級羅茨泵）A 100 L-A 200 L，用于潔凈制程的整體式干泵，緊湊設計，大抽速，低能耗，滿足半導體行業機臺內直接安裝和快速抽空的設計要求，是load-lock、傳送腔及其他非腐蝕性工藝的完美解決方案。Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L排除了泵安裝中的真空管路影響，通過使用 Pfeiffer 整體式干泵，可降低真空管路安裝、集成和調試的成本。Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L高可靠性和長期穩定性使其脫穎而出，現已廣泛應用于全世界范圍內的 300 mm 半導體工廠。

干式真空泵 A 100 L-A 200 L平均故障間隔時間超過 195000 小時，提供干燥無塵的潔凈真空，適合在無塵室中使用，整體式干泵也為太陽能光電設備提供最佳解決方案。低噪音和低振動是該水冷型干泵的其他優勢，小巧的體積保證了其在大型機臺內集成的便利性，是各大設備廠商首選。

干式真空泵 A 200 L是針對高氣流量應用的全新解決方案，抽速200 m3/h，再次展示出了其在整體式干泵市場中全球領導地位。

上海伯東 Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 主要優點
高氣流量，大抽速
結構緊湊，占地面積小
易于集成，運行成本低
低噪音和低震動，無油無塵
即插即用系統：集成型監察裝置
干式真空泵 RS232 / RS485 接口可選

Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 應用行業
Load-lock 和傳送腔
半導體生產
光伏
工業（低溫，氣體制造，激光源）
分析儀（用于電子顯微術或表面分析的閘室）

Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 技術參數

L:標準版本    ES:節能版本

干式真空泵 A 100 L 標準版本
冷卻水循環，在前端配置運行時間記錄儀和三色 LED 指示燈時時顯示泵當前狀態。
主要在售型號：
A 100 L 標準版本，低電壓，16 針 I/O
A 100 L 標準版本，低電壓，19 針 I/O
A 100 L 標準版本，低電壓，RS232/485 接口，16 針 I/O
A 100 L 標準版本，低電壓，RS232/485 接口，19 針 I/O
A 100 L 標準版本，高電壓，16 針 I/O
A 100 L 標準版本，高電壓，19 針 I/O
A 100 L 標準版本，高電壓，RS232/485 接口，16 針 I/O
A 100 L 標準版本，高電壓，RS232/485 接口，19 針 I/O

A 100 L ES 節能版本
緊湊型干泵集成節能模塊，有效減少了 50% 的耗電量。冷卻水循環，在前端配置運行時間記錄儀和三色 LED 指示燈時時顯示泵當前狀態。  

主要在售型號：
A 100 L ES 節能版本，低電壓，16 針 I/O
A 100 L ES 節能版本，低電壓，19 針 I/O
A 100 L ES 節能版本，低電壓，RS232/485 接口，16 針 I/O
A 100 L ES 節能版本，低電壓，RS232/485 接口，19 針 I/O
Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 抽速圖

Pfeiffer 干式真空泵 ACP:上海伯東真空產品事業部是德國 Pfeiffer 指定銷售維修中心，我司是國內最早代理 Pfeiffer 產品的公司，100% 原裝進口并提供 Pfeiffer 全系列真空產品的售后維修服務。

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T: 86-21-5046-1322                   T: 886-3-567-9508 ext 161
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