該儀器設計原理是利用了軟X射線的透射吸收特性，通過傳感器測量透過介質的射線衰

減度，按一定算法轉換為薄膜和板材的厚度數值，測量精度與用戶提供的樣片有關系，最高平均值精

度可精確到0.1UM，是一種薄膜在線厚度檢測儀器的高科技產品。

  為確保儀器的精度，必須保證有三大要素

  1.儀器機械結構的加工精度

 2.信號的采集處理精度

3. 優秀的軟件算法和準確的采樣