福州晶圓防爆真空固化爐

產品用途：本產品是一種用于半導體晶圓制造過程中對聚酰亞胺（PSPI)這一種新型工程高分子材料固化的專用設備，烘箱溫度最高可達450℃

性能特點：

1、真空度可達10 Pa

2、精體內氧含量：≤20ppm,提供氧含量檢測接口

3、日本優易控觸摸屏，升降溫斜率控制

4、內腔采用耐腐蝕SUS316不銹鋼材質制作

型號：   ZK-固化系列                                 

內箱尺寸：20*20*40       ；30*30*60

控溫范圍：RT 20℃~450℃

溫度波動：?0.5℃

真 空  度：10pa

氧 含  量：≤20ppm

內箱材質:  SuS316不銹鋼 Stainless Steel Plate

外箱材質:  鋼板靜電噴涂表面處理 Baked Painting Steel

保溫材料: 硅酸鋁纖維棉 Aluminum silicate fiber cotton

保護裝置: 聲光報警器 超溫保護器 Audible and visual alarm, Over Temp

功      率: 　9.0    12.0

電      源: AC380V?10%3中50HZ